＜概要＞
133～1333Pa(1～10torr)の減圧下に窒素ガスと水素ガスの混合ガスを導入し、品物（鋼など）にマイナス500V前後の直流電圧をかけます。
この状態で品物の周辺にグロー放電が発生（プラズマ状態）し窒化反応が起こります。
実際には、品物を500℃前後まで加熱します。

＜特徴＞
ステンレス鋼などの難窒化材へも適用が容易です。

＜用途＞
一般機械部品、自動車部品、工作機械部品、建設機械部品

＜利点＞
化合物層の組成が自由に調節できるため、試作により機械的性質の最適条件を引き出せます。